Schaeffler Norge AS
Bruksområder
Litografi
Høypresise lineærføringer til koordinatbord
For å påføre strukturer på integrerte kretser får de et belegg av ekstremt lysfølsom fotolakk. Lakken blir utsatt for lys gjennom en maske og brytes ned der hvor den blir truffet av lys.
I neste generasjons halvlederproduksjon sikter man mot strukturer på mindre enn 60 nm for å oppnå høyere lagringstetthet og hastighet.
Lineærmotordrevne koordinatbord beveger substrat og projeksjonsmaske. Maskinen er bygd opp rundt et stabilt, vibrasjonsdempet granittunderlag og en ekstremt presis føring, f.eks. INA rulleomløpsenhet RUE. Denne svært stillegående føringen utmerker seg med en enhetlig løpe- og forskyvningsmotstand, perfekte egenskaper når målet er høy gjentagelsesnøyaktighet og presisjon.
