
Planarmotorer er svært godt egnet til posisjonering punkt for punkt med presisjonskrav i µm-området. En planarmotor kan også brukes loddrett eller hengende. Systemet blir mer effektivt hvis man bruker to eller flere rotorer på en stator. Dermed kan flere akser realiseres på begrenset plass.
Planarmotoren kan styres eller reguleres i mikroskritt. Den er utstyr med tre magnetiske målehoder og reguleres som en elektronisk kommutert likestrømsmotor i tre koordinater.
|
Fordeler
|
Bruksområder